Hands-on-access Fab, uSIC, Tohoku University
開放冷却塔の工事が完了しました。本日より冷水が製造できるようになり、クリーンルームの空調、プロセス冷却水の制御が可能となりました。酸化拡散炉、LPCVDなど高温になる装置について、動作確認を進めております。そのほかの装置の多くはご利用いただけますので、ぜひ使ってください。
＜クリーンルームユーティリティ設備の復旧状況＞
受電設備：4/13に復旧しました。
排気設備：4/14に復旧しました。
空調設備：4/19に復旧しました。
スタッフ一同、皆様のご利用をお待ちしております。
ナノテク融合技術支援センター(CINTS)の新しいホームページと、利用者登録や課題申請のためのmyPageを公開いたしました。試作コインランドリのご利用が決まりましたら、お手数ですが、手続きをお願いいたします。ご不明な点がありましたらお知らせください。
お問い合わせ先 戸津、森山 メール：shisaku-info_AT_ ml.tohoku.ac.jp （_AT_→＠） 電話：022-229-4113
試作コインランドリをご利用くださり、誠にありがとうございます。引き続き多くの皆様にご利用いただいており、11月の利用料収入は過去最高となりました。
皆様のお役に立てるように来年も活動してまいりますので、どうぞよろしくお願いいたします。
寒くなってまいりましたが、お体に気を付けていただき、どうか良いお年をお迎えください。
新年1月は、土日祝日の営業日も多くなっていますので、ぜひご利用ください。
日時: 2021年11月12日（金） 13:00～17:20
開催方法: オンライン（Zoom） 参加無料
主催: 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム
申込みフォーム: https://forms.gle/FrBt5RvkDu9M2HV38
【プログラム】 テーマ：光デバイスと応用
13:00～13:10 戸津 健太郎 （東北大学） 「ご挨拶と試作コインランドリの活動報告」
13:10～13:50 高木 康博 （東京農工大学） 「MEMS型空間光変調器を用いたホログラフィックディスプレイの実現法」
13:50～14:30 南條 健 （リコー） 「サスペンションフリー型ミラーアレーデバイスの展開」
14:30～15:10 岩見 健太郎 （東京農工大学） 「誘電体メタサーフェスを利用した可変焦点メタレンズ」
15:10～15:20 休憩
15:20～16:00 杉山 厚志 （浜松ホトニクス） 「超小型波長掃引量子カスケードレーザの開発」
16:00～16:40 小野 明 （光融合技術協会） 「光産業発展のため光融合技術協会ができること」
16:40～17:20 森山 雅昭 （東北大学） 「新規導入のキヤノンi線ステッパFPA-3030i5+の紹介」
日時: 2021年10月26日（火） 15:00-17:00
開催方法: オンライン（Zoom）
主催: GenISys株式会社、東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
参加費: 無料
申込み先: https://forms.gle/XYru34sr9yP4jhXF8
【プログラム】
15:00 – 16:00
清水 諭（GenISys株式会社）「電子ビーム露光装置による三次元構造物作成のためのドーズ量自動計算ソフトのご紹介」
BEAMERの機能のうち、とくにEBグレースケールのためのドーズ量自動計算の方法について紹介します。
16:00 – 17:00
新関 嵩（Bush Clover株式会社）「電子線描画による三次元構造作成技術」
DOEやマイクロレンズなどの微細な三次元構造を電子線描画装置とBEAMERで作成するための実際の手順や、注意すべき点などを説明します。また、実際の加工例についても紹介します。
9月16日に東北大学の行動指針（BCP）レベルが2に引き下げられました。緊急事態宣言対象地域（お住まい、勤務地）からの試作コインランドリのご利用ですが、緊急事態宣言解除後のご利用をまずご検討ください。
なお、速やかなご利用が必要な場合は、感染予防対策を徹底いただいた上で受けさせていただきますので、ご相談ください。また、ご利用に際しては、内履き、ボールペン、クリーンスーツ等の必要なものを持参いただくなど、西澤センターの感染予防対策を徹底してくださいますよう、お願い致します。引き続き質問票の提出を入館時にお願いします。
8/27より宮城県も緊急事態宣言対象地域となりましたが、県内からのご利用はこれまでどおり受け付けております。県外の緊急事態宣言対象地域からのご利用は、宣言解除後までお待ちくださいますようお願い申し上げます。
明日8/20より、大学のBCPレベルが3に上がります（詳しくはこちら）。大変申し訳ございませんが、緊急事態宣言対象地域（お住まい、勤務地）からの試作コインランドリのご利用はご遠慮ください。既にご予約いただいている利用につきましては、感染防止対策や体調管理を徹底いただいた上でお越しください。試作コインランドリでは、積極的に受託加工を行ってまいりますので、お気軽にご相談ください。どうぞよろしくお願いいたします。
緊急事態宣言対象地域（お住まい、勤務地）からの試作コインランドリのご利用ですが、緊急事態宣言解除後のご利用をまずご検討ください。
なお、速やかなご利用が必要な場合は、感染予防対策を徹底いただいた上で受けさせていただきますので、ご相談ください。また、ご利用に際しては、内履き、ボールペン、クリーンスーツ等の必要なものを持参いただくなど、西澤センターの感染予防対策を徹底してくださいますよう、お願い致します。引き続き質問票の提出を入館時にお願いします。
