パンフレット更新のお知らせ
パンフレットを更新しました。
http://www.mu-sic.tohoku.ac.jp/coin/wp/wp-content/uploads/brochure2025.pdf
スタッフ一同、皆様のご利用をお待ちしております。
中学生の職場体験でのIoT実習の記事が掲載されました。
2024年度の中学生の職場体験において、ソニーマーケティング株式会社様より御貸与頂きましたMESHTMを用いたIoT体験について、下記の記事がソニーマーケティング株式会社様のホームページに掲載されました。
MESHTM：https://meshprj.com/jp/
職場体験「みんなのアイデアを形にしよう！中学生の職場体験でのIoT実習」https://library.meshprj.com/case/edu-u-tohoku-micro-system-dev-center
ARIM装置利用を始めてお使いいただく方には費用を支援する制度がございます
令和７年度 試行的利用 応募開始のお知らせ
令和７年度 試行的利用の応募が開始されました。
詳細はこちらをご覧ください。
ARIM 令和７年度 試行的利用のページ
ARIMホームページのURLが変更されました
文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）のURLが「https://nanonet.mext.go.jp/」から「https://nanonet.go.jp/」に変更となりました。お手数ですがブックマークに保存されている場合には、変更をお願いいたします。
利用報告書のページも「https://nanonet.go.jp/system_user_report/」と変更になっていますのでご注意ください。
クリーンルームのご利用を再開しました。
試作コインランドリのクリーンルームはご利用ができるようになりました。
御利用の皆様にはご不便、ご迷惑をおかけしておりましたが、4月22日（火）よりご利用できるようになりました。
また、3階の居室をリニューアルしました。
よろしくお願いいたします。
令和6年度の料金表をアップしました。
http://www.mu-sic.tohoku.ac.jp/coin/wp/wp-content/uploads/ryoukinhyou.pdf
4月からもぜひご利用ください。スタッフ一同、お待ちしております。
村井宮城県知事が東北大学試作コインランドリを視察されました。
2024年3月14日、村井 嘉浩 宮城県知事が、東北大学マイクロシステム融合研究開発センターの事業場である、「東北大学西澤潤一記念研究センター」を訪問されました。
マイクロシステム融合研究開発センターは、MEMSを中心とした各種デバイス試作開発に関わる100台以上の装置を企業や大学などに開放し研究開発や実用化を支援する「試作コインランドリ」を運営しており、戸津教授・センター長より概要の説明がありました。その後、クリーンルームとMEMSショールームをご見学なさいました。知事からは試作コインランドリや半導体人材育成などの取り組みなどについてご質問されるなど、活発な意見交換が行われました。
METI Online Journal に記事掲載
試作コインランドリにおける半導体実習が経済産業省のウェブマガジンに取り上げられました。
第35回 マイクロシステム融合研究会 ＋MEMSPC Café
東北大学マイクロシステム融合研究開発センターとMEMSパークコンソーシアム（MEMSPC）では、情報共有やネットワーク形成を目的として、MEMS/マイクロシステムに関連する話題で研究会を定期的に開催しています。今回の第35回は4年ぶりの対面開催となります、また研究会終了後に交流会を開催致します。皆様ぜひご参加ください。
開催日/時間：3月1日（金）14:20～17:35 （終了後交流会）
会場：東北大学東京オフィス会議室AB
東京都千代田区丸の内1-7-12 サピアタワー10階
https://www.bureau.tohoku.ac.jp/somu/tokyo/access.html
参加費：無料（懇親会は4,600円です。MEMSPC会員企業は1名様無料です。）
お申込み：
以下のGoogle Formの他、事務局あてE-mail、FAXでも受け付けます。
https://forms.gle/p7uFCWsp5CM4hYbh6
（参加申込〆切：2024年2月26日）
■研究会プログラム
＊14:20-14:25 主催者挨拶
＊14:25-15:00 日清紡マイクロデバイス（株） 口地 博行 様
講演タイトル 仮）「圧電MEMSマイクロフォンの開発とその応用」
＊15:00-15:35 日本３Dプリンティング産業技術協会 大庭 秀章
講演タイトル 仮）「海外３Dプリンタの状況」
＊15:35-15:45 休憩
＊15:45-16:25 SKグローバルアドバイザーズ代表取締役 神永 晉 様
IEEE Electron Devices Society -Robert Bosch Micro and Nano Electro Mechanical Systems Award-
受賞記念講演
＊16:25-17:00 藤倉化成（株） 村山 竜一 様
講演タイトル 仮）「藤倉化成 DOTITEのご紹介」
＊17:00-17:35 内藤電誠工業（株） 山内 孝之 様
講演タイトル 仮）「センサ用ASICの設計及び評価解析について」
■立食形式の交流会（18:00~20:00)
会場：サピアタワー4F 特設会場（402CD)
参加費：4,600円/1名（MEMSPC会員企業は1名様無料です。）
■問い合せ先（研究会事務局）：東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
小林みゆき /大高剛一
E-mail miyuki.kobayashi.c2@tohoku.ac.jp / koichi.ohtaka.e8@tohoku.ac.jp
TEL 022-229-4113 / FAX 022-229-4116
ボールウェーブ株式会社の利用成果が、文科省マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）令和5年度「秀でた利用成果」最優秀賞を受賞しました。
文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）事業において、本学マイクロシステム融合研究開発センター・試作コインランドリ で開発を支援した成果が、同事業の令和5年度「秀でた利用成果」の最優秀賞に選ばれ、令和5年12月4日に一橋大学一橋講堂で開催された「DxMT,ARIM合同イベント」内のARIM秀でた利用成果発表会で表彰されました。受賞対象の成果は、東北大学発スタートアップ企業である、ボールウェーブ株式会社 （赤尾慎吾 代表取締役社長）の「ボールSAWセンサの社会実装」です。
ボールSAW（ボール表面弾性波）センサとは、直径3mm程度の球の赤道（大円）において適切な条件で発生させた表面波が拡がらずに同じ幅を保って伝搬を続ける現象を用いたセンサです。直径3 mm程度の水晶の球に幅10 µm程度の電極を形成するため、試作コインランドリの球面露光装置、球面スパッタ装置を用いました。具体的には、水晶の球に電極をパターニングするため、球全面に均一なCr薄膜の成膜、ボールSAW部のすだれ状電極のため球面へのフォトリソグラフィ、リフトオフによる電極の形成、および、感応膜の成膜です。
本センサを活用して世界最小のガスクロマトグラフ「Sylph」が製品化され、ベンゼンなどの有機系ガス成分について、サブppmレベルの感度での検出を実現されました。同製品は2023年1月に米国ラスベガスで開催された国際コンシューマーエレクトロニクスショー(CES)において、CES 2023 INNOVATION AWARDを受賞しました。手のひらサイズと小型であることを活かして、世界で初めてドローンにガスクロマトグラフを搭載して、プラントの煙突から放出されるガスの局所的な分析に成功しています。
2月2日まで東京ビッグサイトで開催のnano tech 2024でもポスター展示を行いました。写真は世界最小のガスクロマトグラフ「Sylph」、ボールウェーブの竹田宣生CTO、東北大の森山雅昭准教授。
