東北大学西澤潤一記念研究センター内
| 自作LSI・装置室 | 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター 〒980-0845 仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176 東北大学西澤潤一記念研究センター内 Tel: 022-229-4113 Fax: 022-229-4116  |
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 (InterLab,No.8(1999) pp.23-26) |
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自作ＬＳＩ・装置室(入口） |
 自作ＬＳＩの設計・製作（パネルと資料） |
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 Si 気相成長装置配管 |
 大気圧CVD装置（poly Si, Si3N4, SiO2） |
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 半導体研究所関係 |
 西澤先生肖像画 |
 MEMS主要大会予稿集・DVD |
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 真空管測定器 |
 位相差金属顕微鏡 |
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最新情報＆更新情報
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