第33回マイクロシステム融合研究会

東北大学マイクロシステム融合研究開発センター・MEMSパークコンソーシアム主催の「第33回マイクロシステム融合研究会」をオンラインにて開催いたします。今回はMEMSの中心的な加工技術である「リソグラフィ、および3Dパターニング等の応用」についてご講演いただきます。皆様ぜひご参加ください。

日時：　2023年3月24日(金)　 13：00～17：30

開催方法：　オンライン（Zoom）

主催：　東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム

参加費：無料

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■配信用のURLは詳細決まりましたら、お申込みの方々へメールにてご連絡いたします。

■詳細はこちらをご覧ください。

問い合せ先：東北大学マイクロシステム融合研究開発センター　

庄子留美子 E-mail rumiko.shoji.a8@tohoku.ac.jp　TEL 022-305-2351

【プログラム】

13：00～13：40　関口淳（リソテックジャパン）「ステッパ開発の歴史とレジスト材料」

13：40～14：20　渡邉陽司（ニコン）「DUV光マスクレス露光機の開発」

14：20～15：00　花城秀明（ミカサ）「膜厚リアルタイム測定機能付スピンコータ」

～休　憩～

15：10～15：50　平井義和（京都大学）「3次元リソグラフィ技術による生体模倣システムの構築」

15：50～16：30　竹田宣生（ボールウェーブ）「球面マスクレス露光装置によるボールSAWセンサの製造と超小型ボールSAWガスクロマトグラフ」

16：30～17：10　佐々木実（豊田工業大学）「立体サンプルの三次元フォトリソグラフィ加工」

17：10～17：30　戸津健太郎（東北大学）「試作コインランドリにおけるデータ収集、登録について（文科省ARIMプロジェクト関係）」